超聲波流量計芯片的原理探討   七十一

4 1 4超聲波流量計芯片整體版圖

整體版圖所示，由于芯片的PAD有“個，所以芯片引腳的ESD保護占了很大的面積，使版圖的整體面積較大。

4 1 5芯片版圖驗證

如前文提到的版圖設計流程，本文在使用Virtuoso Layout Editor J=具完成版圖的設計后，對芯片的版圖進行了DRC和LVS驗證，通過后對帶有寄生參數(shù)的版圖州表進行后仿真，以判斷所設計版圖的性能是否達到設計指標要求。如不滿足則重新粕局、靠線開始，版圖文件是可以直接交給半導體加工工廠生產的。但是，在交付廠商之前必須做DRC驗證。因為，為了保證版圖能正確制出，流片廠家會根據(jù)工藝定義很多的設計規(guī)則，只有版圖滿足廠家的所有的設計規(guī)則，才可能被正確的制H{。一般配來，設計規(guī)則有很多，例如最小間距、晶小孔徑等。不符臺廠家提出的設計規(guī)則要求的版圖在工藝線是不可能被正確生產出來的。