超聲波流量計探頭及換能器原理  一三八

沉銅法:把清洗干凈的晶片放入氫氟酸(HF)中腐蝕1分鐘,取出并用水沖凈,放入10%氯化錫溶液中浸潤兩分鐘,取出并用流水沖凈,然后放入2%硝酸銀溶液中浸潤兩分鐘,取出并在100℃左右烘干,再放入沉銅液中沉銅15分鐘,取出用流水沖凈,最后采用電鍍法加厚,再拋光即成.

沉銅液為原液1000:(5-7)促進(jìn)劑攪拌均勻混和后使用,原液配方為:

硫酸銅(CuSO4·7H2O)--150克氫氧化鈉(NaOH)--300克 丙三醇(甘油)--0.24克 水--1升將硫酸銅先溶入500毫升水中,加熱使充分溶化,冷卻至室溫,加入甘油攪拌即成甘油銅,將氫氧化鈉溶于500毫升水中,在30-40℃下把甘油銅與氫氧化鈉溶液混和均孕(注意防止沉淀).

促進(jìn)劑為濃度36%的甲醛溶液.

采用沉銅法在晶片上得到銅電極(晶片邊緣要刮除銅層以免短路),銅的比重較大,這種電極對晶片諧振頻率的影響要比銀電極為大.

當(dāng)采用燒滲銀法涂復(fù)電極時,由于其過程中有加熱工序,對已經(jīng)極化處理的壓電晶片也會產(chǎn)生去極化效果,故采用這種方法涂敷電極的壓電晶片需重新進(jìn)行極化處理.下面以鋯鈦酸鉛(PZT)晶片的極化處理為例:

極化溫度:將晶片放入硅油中加熱到140℃左右極化電壓:每毫米晶片厚度采用2-3千伏的直流電壓極化時間:在上述條件下保持10分鐘,然后撤去電壓并降溫

或者在120-150℃下使用直流3-5KV/mm晶片厚度持續(xù)20-60分鐘,然后撤去電壓并降溫.

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