智能孔板流量計的研究與探討 四十五

4．2差壓變送器的選擇

差壓變送器選用德國SENSE公司生產的SDPS3單晶硅智能差壓傳感囂。SOl(Silicon—Or]～Insulator)單晶硅高溫壓力傳感器是采用硅、硅真接鍵合技術和濃硼自終止腐蝕技術相結合研制的壓力傳感器。該傳感器用單晶硅材料做應變電阻，并以一層Sio₂薄膜將硅襯底與應變電阻隔離，形成單晶硅結構。其特點是：即利用了單晶硅的應變因子，提高了傳感器的靈敏度；又利用了介質隔離代替P-N結隔離，減少漏電流，提高了傳感囂的工作溫度；同時工藝上利用單晶硅的可重復性，與CMOS工藝完全兼容，易于實現集成化。

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