超聲波流量計芯片的原理探討  九

 

1．3超聲波流量計設計的工作環境

(1)硬件環境：SUN工作站。

(2)軟件環境：Solaris操作系統，Cadence軟件。

(3)開發工具：電路編輯工具Composer，仿真軟件Hspic宅，版圖繪制工具Virtuoso，驗證工具Dracula。

(4)流片工藝：多晶圓項目0．5／比m DPTM CMOS工藝。

 

2 時差法超聲波流量計的原理與分析

最早的超聲波流量計就是采用的直接時差法。隨著電子技術與集成電路的發展，時差法也不斷改進與發展，依然在超聲波流量計測量領域被廣泛的應用。

2．1 時差法流量計的測量原理

時差法超聲波流量計，是利用超聲波在橫向穿過流動的液體時，在其順流和逆流介質中，其超聲波的速度有差異而形成傳播的時間差。根據時間差測得流體的流量。

圖2．1時差法超聲波流量計測量原理圖